N31系列直線壓電馬達(dá)是芯明天研發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)及銷售的一款納米級精密運(yùn)動產(chǎn)品。它具有三個行程范圍可選，分別為25mm、50mm和100mm。可選配高精度光柵增量式編碼器作為傳感器，完成高精度的運(yùn)動定位。
N31系列直線壓電馬達(dá)是采用壓電陶瓷驅(qū)動，利用類似人行走的驅(qū)動原理，將壓電陶瓷的高頻微動的微小位移轉(zhuǎn)換為直線壓電馬達(dá)平臺的大行程、高精度運(yùn)動。該系列直線壓電馬達(dá)具有大出力、閉環(huán)誤碰后自動歸位等優(yōu)點(diǎn)。
為滿足各種應(yīng)用中XYZ三維大行程、高精度位置調(diào)節(jié)的需求，芯明天基于N31系列直線壓電馬達(dá)專門設(shè)計(jì)了一款三維運(yùn)動的大行程、高精度直線壓電馬達(dá)。它的外觀如下圖所示。該XYZ三維直線壓電馬達(dá)是基于三臺N31系列直線壓電馬達(dá)，XYZ三軸的行程分別為50mm、50mm、100mm。該產(chǎn)品經(jīng)過實(shí)測XYZ向的精度均在1μm以內(nèi)；運(yùn)動速度可達(dá)4mm/s以上。測試過程中，XYZ三維直線壓電馬達(dá)每軸的運(yùn)動都是通過芯明天E71系列壓電伺服控制器進(jìn)行驅(qū)動的，并通過配套上位機(jī)軟件進(jìn)行控制參數(shù)設(shè)置。
XYZ三維直線壓電馬達(dá)平臺測試中下述測試結(jié)果是在0.5kg負(fù)載、20.8℃溫度、31%濕度下測得。
從上方參數(shù)中可看到，X、Y、Z向的運(yùn)動重復(fù)度分別可達(dá)0.645μm、0.611μm、0.681μm，可滿足高精度的定位要求。運(yùn)動效果如下方視頻展示。
注：1倍速播放
N31系列一至三維直線壓電馬達(dá)，因其高精度，非常適用于半導(dǎo)體測試、晶圓檢測、納米壓印、納米計(jì)量、工業(yè)精密定位等領(lǐng)域。
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