P16系列壓電掃描臺(tái)為XY軸平移掃描臺(tái)，機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，中心具有通孔，該系列掃描臺(tái)有行程可達(dá)105μm，開(kāi)環(huán)、閉環(huán)可選。方形移動(dòng)臺(tái)面，便于與外部機(jī)械結(jié)構(gòu)安裝連接。

特點(diǎn)

•位移可達(dá)105μm

•承載能力1.5kg

•閉環(huán)重復(fù)定位精度高

•開(kāi)環(huán)、閉環(huán)可選

•真空版本可選

頻率負(fù)載曲線

剛度大、諧振頻率高、負(fù)載能力大

P16系列壓電掃描臺(tái)，采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，掃描臺(tái)分別可實(shí)現(xiàn)50μm 、100μm、105μm 的運(yùn)動(dòng)行程，一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)XY 軸運(yùn)動(dòng)無(wú)耦合，優(yōu)異的結(jié)構(gòu)可承載1.5kg 的負(fù)載，空載諧振頻率達(dá)700Hz。P16.XY100 版本為中心對(duì)稱運(yùn)動(dòng)方式，需配套帶有一通道恒壓的三通道壓電控制器。

P16二維壓電掃描臺(tái)中心通孔尺寸Ø20mm或Ø43mm，該系列壓電掃描臺(tái)以其小體積、大負(fù)載、高動(dòng)態(tài)等特性廣泛應(yīng)用于顯微成像等領(lǐng)域。

應(yīng)用實(shí)例

P16.XY二維壓電掃描臺(tái)以其大承載、高頻率等特點(diǎn)，應(yīng)用于光路調(diào)整實(shí)驗(yàn)中，帶載鏡片做XY軸精密運(yùn)動(dòng)。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：P16.XY100

運(yùn)動(dòng)自由度：X、Y

行程范圍（0~120V）：80μm或±40μm/軸

行程范圍（0~150V）：100μm/軸或±50μm/軸

閉環(huán)傳感器：SGS

通孔尺寸：Ø20mm

閉/開(kāi)環(huán)分辨率：10/5nm

閉環(huán)線性度：1%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.5%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)：<25μrad

推/拉力：30/30N

運(yùn)動(dòng)方向剛度：0.5N/μm

空載諧振頻率：600Hz

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間：10/1.6ms

承載能力：1.5kg

靜電容量：3.6μF/軸

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：220g